半自動臺階儀JS100B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域，擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結構，提供穩(wěn)定可靠的重復性測量。

產品特色

納米級測試精度，標準偏差0.5nm以內

可測樣品厚度范圍0-10mm；超出可定制

操作流程直觀，軟件緊密貼合客戶需求，上手更快

儀器結構模塊化設計，安裝維護簡易快捷

大行程超平面掃描技術（行程55mm，平坦度優(yōu)于20nm）

超微壓力，恒定控制（探針壓力0.5~50mg）

大帶寬大行程，納米微動臺技術（行程80um，分辨率0.05nm，帶寬10KHz）

產品結構

產品優(yōu)勢

穩(wěn)定的重復性

1um標準樣品30次掃描偏差極值小于10nm，準確度（1σ）小于0.5nm。

實時觀察掃描區(qū)域

金剛石針尖

無畸變的觀察樣品區(qū)

應用領域

半導體、太陽能、LED、光電子、生物醫(yī)學器件、MEMS、薄膜化學、圖層、平板顯示、觸摸屏、材料學

應用示例

測金屬片

測膜厚

測電極